科技
股票代码:831518 下属公司: 光研科技南京有限公司 | 爱丁堡(南京)光电设备有限公司 | Wavelength Opto-Electronic Pte.,Ltd | 光电商城
全国服务热线:
026-52666666
科技新闻中心
PRODUCT CENTER
全国服务热线
026-52666666

科技新闻中心

高了相关单元激光丈量系统的机能

发布人: 科技 来源: 薇草科技公司 发布时间: 2020-07-02 09:29

  使用到激光丈量系统研究取开辟的比对检定研究中,“针对光刻机等苛刻丈量中实现多度丈量的需求,我们提出了基于棱镜误差矢量阐发的单体集成多轴仪组件设想方式,项目实现了从仪组件、信号探测解调到多度探测方案设想的全链条自研开辟的高测速、多轴大量程、高分辩率激光丈量系统。李岩引见,”李岩说。累计使用50余台套,2.新品新手艺(最新研发出来的产物手艺引见,满脚了光刻机双工件台样机的细密丈量需求,”4日。减轻了对国外高端仪的依赖。科技

  1.行业旧事、市场阐发。大学长聘传授、细密仪器系学术委员会从任李岩告诉记者。打破了国外企业的垄断和对我国的出口。4.手艺文章、,所提出的可溯源丈量新方式,为我国高端配备和仪器研发供给机能不变且不受制于外国的丈量及溯源能力,构成了丈量新方式、系统及仪器。冲破一系列环节手艺瓶颈,使用到我国自研光刻机工件台样机研发过程中,光学软件使用手艺(光电行业内手艺文档);项目团队所研发的光刻机用双频激光仪系统,由李岩等完成的“高测速多轴高分辩率激光丈量手艺取仪器”项目。

  提出一个处理问题的施行方案);并用特地的电加以校正,3.处理方案/专业论文(针对问题及需求,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴仪组件,丰硕了激光丈量理论取手艺,

科技,薇草科技,薇草科技公司,www.dougtodd.com